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VOD-90晶圓芯片高溫烘箱400度真空充氮烤箱

VOD-90晶圓芯片高溫烘箱400度真空充氮烤箱
本產品適用于半導體、電子產品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無氧化干燥、脫泡、固化、焊接、退火等高溫處理。

產品型號：

生產地址：上海

廠商性質：生產廠家

發(fā)布時間： 2024-09-26

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品牌	其他品牌	應用領域	化工,石油,電子/電池,航空航天,電氣

VOD-90晶圓芯片高溫烘箱400度真空充氮烤箱

本產品適用于半導體、電子產品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無氧化干燥、脫泡、固化、焊接、退火等高溫處理。

型號		VOD-90	VOD-210	VOD-216
真空度		≤10 pa
電源		AC380V 3φ 50HZ
功率（KW）		12	18	20
工作環(huán)境溫度
性能	溫度范圍	RT+10℃～450℃
	升溫時間	2 ℃/minute～4 ℃/minute
	降溫時間	2 ℃/minute～4 ℃/minute (400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)
結構	外殼	冷扎碳鋼板，經防銹處理后靜電噴塑，耐劃傷
	內膽	5mm厚，SUS304不銹鋼，不銹鋼內外表面拋光
	保溫材料	厚度150毫米硅酸保溫棉，保溫性能良好
	箱門	真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護.(高溫狀態(tài)下使用,為耗品,建議2-3個月更換一次)
	真空泵	LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購真空泵,或者制定真空泵型號);
加熱系統(tǒng)		四面輻射加熱
電器系統(tǒng)	系統(tǒng)采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮氣啟停；
溫控輸出	SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態(tài)繼電器
安全保護	加熱電流過流、系統(tǒng)短路保護、電壓過壓保護、真空泵過負載、缺相保護、電爐超溫報警等功能
內容積（L））		91	215	252
內部尺寸（㎜）		W450×D450×H450	W560×D640×H600	W700×D600×H600
外部尺寸（㎜）		W800×D800×H1715	W910×D990×H1865	W1050×D950×H1865